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德國HEIMANN生產硅MEMS結構皮拉尼真空傳感器


德國HEIMANN真空傳感器HVS是微型的皮拉尼型傳感器,基于HEIMANN的MEMS技術的加熱電阻結構從而是傳感器更小,更堅固,可以封裝在TO封裝中。

芯片型號:

HVS vac03g TO-8  壓力范圍1mbar - 10-5mbar

HVS vac03k TO-39  壓力范圍1mbar - 10-5mbar

HVS vac04  TO-39(單芯片),TO-8(雙芯片) 壓力范圍1-1000mbar

訂購型號:Vac03g + Vac04 in TO8  ,Vac03g in TO8 ,Vac03k in TO39,Vac04 mit Brücke in TO39,Vac04 ohne Brücke in TO39

技術文檔,可郵件[email protected] 詢問

 


 


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